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工作过程中,所有吹过工作区域的气流,均为经HEPA高效过滤器(对0.3微米颗粒过滤效率为99.999%)过滤的洁净气流。此洁净气流不断吹过工作区域,使得工作区域为无颗粒、无菌环境,确保对产品的保护。
工作区域洁净等级为 10级(U.S.Fed.Std.209及B.S.5295标准)。
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